آلة طلاء الرش أشباه الموصلات بالموجات فوق صوتية

آلة طلاء الرش بالموجات فوق الصوتية لأشباه الموصلات

الرش بالتبخير بالموجات فوق الصوتية لأشباه الموصلات هو تقنية ترسيب أغشية رقيقة دقيقة تستخدم طاقة الموجات فوق الصوتية عالية التردد لتبخير مواد أشباه الموصلات (مثل مقاومات الضوء والمواد الموصلة) إلى قطرات دقيقة وموحدة. ثم يتم رش هذه القطرات بدقة على سطح الركيزة باستخدام غاز حامل، مما يؤدي إلى طلاءات أغشية رقيقة عالية الجودة وموحدة. توفر هذه التقنية مزايا مثل الكفاءة العالية والدقة العالية وفقدان المواد المنخفض والطلاءات الرقيقة والموحدة. تستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات والطاقة الجديدة وطلاء الزجاج، لتحل محل طرق الرش التقليدية.

مبدأ العمل

1. التبخير بالموجات فوق الصوتية:

القلب النابض للجهاز هو الفوهة فوق الصوتية، والتي تحتوي على محول يحول الطاقة الكهربائية إلى اهتزازات ميكانيكية عالية التردد.

2. تبخير السائل:

عندما يتدفق السائل (المحلول أو المحلول الغروي أو المعلق) عبر الفوهة، يولد البخاخ المهتز اهتزازات. عندما تتجاوز سعة الاهتزاز التوتر السطحي للسائل، ينقسم السائل إلى قطرات بحجم ميكرون.

3. توصيل الغاز الحامل:

ثم يتم نقل القطرات المتبخرة بالتساوي إلى سطح الركيزة بواسطة كمية محددة مسبقًا من الغاز الحامل (مثل الهواء).

4. ترسيب الأغشية الرقيقة:

تترسب القطرات على الركيزة، وتشكل طلاء فيلم رقيقًا مستمرًا.

المزايا في تطبيقات أشباه الموصلات

دقة وتوحيد عاليان:

تعد القدرة على ترسيب طلاءات أغشية رقيقة فائقة الرقة وموحدة أمرًا بالغ الأهمية للتطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات، مثل مقاومات الضوء والأغشية الموصلة والأغشية العازلة، والتي تتطلب دقة عالية للغاية.

تقليل فقدان المواد:

بالمقارنة بالرش التقليدي، لا ينتج الرش بالموجات فوق الصوتية أي ارتداد للقطرات أو تناثر زائد، مما يزيد من استخدام المواد عدة مرات، مما يجعلها مناسبة بشكل خاص لطلاء المواد باهظة الثمن.

الرش اللطيف:

عملية الرش لطيفة ولا تتلف الركيزة، مما يجعلها مناسبة لمواد أشباه الموصلات الهشة والمكونات الإلكترونية.

فوهات متنوعة:

يمكن تحديد فوهات ذات عروض وأطوال وأشكال ومعدلات تدفق مختلفة لتلبية متطلبات التطبيقات المحددة، مما يتيح الطلاء الموحد للمناطق الموضعية أو الكبيرة.